掃描電鏡除能檢測二次電子圖像以外，還能檢測背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發光等信號圖像。其成像原理與二次電子像相同，在進行電鏡觀察前，要對樣品作相應的處理。
我們都知道平時的維護養護很重要，不管是在運作狀態還是非運作狀態，都對周圍的環境有嚴格的要求，這種環境會對掃描電鏡產生緩慢的影響，如果稍不留意就會使它的使用壽命慢慢削減，所以使用者要重視這個問題，不要讓環境影響到精密度。對于掃描電鏡產生的影響進行介紹：
1、灰塵的影響。如果臺式電鏡的導軌、探頭和高壓電源等電子元件沾上了太多塵埃物質，就會對儀器的精度、成像造成嚴重影響，導致測量結果不準確，并且還會加快硬件的磨損，所以一定要定期清潔，注意衛生。
2、油污的影響。如果臺式電鏡的電子部件沾染油污，會大大縮短使用壽命，在觸摸臺式電鏡的時候要戴棉質手套。
3、光照的影響。臺式電鏡不能直接對著太陽直射，也不能放在陽臺很強的位置，否則會影響臺式電鏡精度，長時間溫度過高還會損壞臺式電鏡。
4、溫度的操控。臺式電鏡適宜放在18攝氏度到24攝氏度的室內，如果超過zui高溫度或者低于zui低溫度，都有可能造成臺式電鏡準確度不溫度。
